照射装置

特徴

ウエハを、減圧雰囲気下で加熱・UV照射できる装置です。

・チャンバーの内径φ550で、φ300のウエハを設置可能
・上部を開放し、ウエハを出し入れ
・ウエハ昇降機構あり
・2箇所のビューポート付き
・キャスターとアジャスター付きで、移動と固定が可能
・到達真空度　10-1Pa台

＜納期＞約2ヵ月

備考

【使用ポンプ】
・メカニカルブースターポンプ　1台
・ドライポンプ　1台




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