株式会社 豊栄製作所 〒561-0845 大阪府豊中市利倉1-13-15
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ウエハを、減圧雰囲気下で加熱・UV照射できる装置です。 ・チャンバーの内径φ550で、φ300のウエハを設置可能 ・上部を開放し、ウエハを出し入れ ・ウエハ昇降機構あり ・2箇所のビューポート付き ・キャスターとアジャスター付きで、移動と固定が可能 ・到達真空度 10-1Pa台 <納期>約2ヵ月
【使用ポンプ】 ・メカニカルブースターポンプ 1台 ・ドライポンプ 1台 07170